MOCVD作为半导体照明核心环节的外延片生长关键设备，也是制造环节中单项投资最大的设备。目前可以提供工业化生产MOCVD设备制造商有限，集中程度较高，主要在欧美和日本。

　　当前，美国Veeco和德国Aixtron两家公司把持了全球MOCVD设备市场，二者在国际MOCVD设备市场上的占有率多年来连续超过90%，形成了寡头垄断的格局，同样也垄断了中国的MOCVD设备市场，其技术水平、规模效应、品牌效应、客户资源等都达到了相当的高度(如图6)。因此MOCVD设备很大程度上从成本、产量等方面制约了中国LED产业的健康快速发展。

　　实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化，将是提升我国整个LED产业的技术及创新能力的历史转折点。正是由于国内MOCVD设备进口替代潜力明显，对产业发展意义重大，国家有关部门以及地方政府提出的多项为推动MOCVD国产化以及整个LED行业发展和产业结构优化升级的产业政策，对MOCVD设备行业产生积极的推动作用。

　　中国MOCVD的技术开发始于20世纪80年代。1986年中科院上海冶金研究所自主研发出生长GaAs外延片的水平式MOCVD设备。自从1986年到现在，中国MOCVD国产化的工作一直在持续。“九五”计划期间，863计划就有对MOCVD的研发项目给予支持，此后的“十五”、“十一五”、“十二五”期间都有对于MOCVD研发的支持。

　　支持我国半导体照明产业发展的《半导体照明节能产业规划》和《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》都明确提出在“十二五”期间将“实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化”。其中《半导体照明节能产业规划》更是将MOCVD确定为“提升LED照明节能产业的整体创新能力”的重要内容，进行“核心装备制造技术-多片式 MOCVD等生产型设备国产化关键技术”的研发，同时“着力推进核心装备的引进消化吸收和再创新，力争实现生产型MOCVD 设备量产。促进生产设备、工艺装备、检测设备制造商与材料工艺研究机构及用户间的合作。”