摘要：利用GCR170型脉冲激光器Nd：YAG 的三次谐波(355nm)，以蓝宝石Al2O3(0001)为衬底，在不同温度下采用脉冲激光沉积法制备了ZnO 薄膜.通过原子力显微镜、Raman谱、光致发光谱、红外透射谱、霍尔效应和表面粗糙度分析仪对制备的ZnO 薄膜进行了测试.分析了在不同衬底温度下薄膜的表面形貌、光学特性，同时进行了薄膜结构和厚度的测试.研究表明：衬底温度对ZnO 薄膜的表面形貌、光学特性、结构特性都是重要的工艺参量，尤其在500 ℃时沉积的ZnO 薄膜致密均匀，并表现出较强的紫外发射峰。

　　在大多数薄膜制备方法中，衬底温度都是一个重要的沉积参量，对薄膜材料与衬底间的粘附性、原子表面迁移率、无定性衬底(如玻璃材料)上薄膜的结晶和取向、薄膜中缺陷和应力都产生很大的影响[12].氧化锌(ZnO)是一种直接宽带隙半导体材料，在室温下它具有宽禁带3.37eV，有较大的激子束缚能60meV，这使得氧化锌中的激子在较高的温度下仍然能够存在，从而为这种材料在室温下产生高效率的激子发射提供了基本保证，使它具有很强的紫外及蓝绿光发射，成为紫外探测、LED、LD 等领域研究的热点......

　　0、引言

　　1、实验

　　2、结果与分析

　　3、结论