柏林科技大学再添 Thomas Swan MOCVD
摘要： 2007年4月3日，AIXTRON AG 宣布柏林科技大学(Technical University Berlin，TU Berlin) 固态物理学院( Institute of Solid State Physics)订购一台新Thomas Swan(AIXTRON子公司)3x2英寸CCS外延生长反应室(MOCVD)，用于铝含量高的GaN/(Al,Ga,In)N 合金材料(激光器及紫外LED用)的开发。
2007年4月3日，AIXTRON AG 宣布柏林科技大学(Technical University Berlin，TU Berlin) 固态物理学院( Institute of Solid State Physics)订购一台新Thomas Swan(AIXTRON子公司)3x2英寸CCS外延生长反应室(MOCVD)，用于铝含量高的GaN/(Al,Ga,In)N 合金材料(激光器及紫外LED用)的开发。设备将安装在TU Berlin先进的无尘室中，与之前的AIX 200RF及AIX 200/4系统安置在一起。
固态物理学院使用AIXTRON的MOCVD设备已有些年头。由于AIXTRON优秀的后援支持和服务，固态物理学院与之建立了良好的工作关系。新Thomas Swan CCS系统拥有全新的控制系统(以数字质量流量控制器和压力控制器为特色)及安全系统，在材料一致性、厚度、掺杂、组分方面优势显著，工艺兼具稳定性和灵活性，并支持多种不同的原位控制技术，为学院开发三族氮化物激光二极管和高亮紫外LED的搭建了一个有用平台。（编辑：ZQY）
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