蓝宝石等LED衬底材料的选择比较

上传人：LEDth/整理

上传时间： 2013-08-01

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　　衬底材料是半导体照明产业技术发展的基石。不同的衬底材料，需要不同的外延生长技术、芯片加工技术和器件封装技术，衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线。衬底材料的选择主要取决于以下九个方面：

　　•[1]结构特性好，外延材料与衬底的晶体结构相同或相近、晶格常数失配度小、结晶性能好、缺陷密度小;

　　•[2]界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性强;

　　•[3]化学稳定性好，在外延生长的温度和气氛中不容易分解和腐蚀;

　　•[4]热学性能好，包括导热性好和热失配度小;

　　•[5]导电性好，能制成上下结构;

　　•[6]光学性能好，制作的器件所发出的光被衬底吸收小;

　　•[7]机械性能好，器件容易加工，包括减薄、抛光和切割等;

　　•[8]价格低廉;

　　•[9]大尺寸，一般要求直径不小于2英吋。

　　对于制作LED芯片来说，衬底材料的选用是首要考虑的问题。应该采用哪种合适的衬底，需要根据设备和LED器件的要求进行选择。目前市面上一般有三种材料可作为衬底：蓝宝石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)。

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