不同衬底生长ZnO薄膜的结构与发光特性研究
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上传人：戴建明、冯建强、张瑞丽、袁广宇、刘强春、王红艳 上传时间： 2013-01-23 浏览次数： 35 |
| 作者 | 戴建明、冯建强、张瑞丽、袁广宇、刘强春、王红艳 |
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| 单位 | 淮北煤炭师范学院物理系、中科院固体物理研究所内耗与固体缺陷开放实验室 |
| 分类号 | O484.4 |
| 发表刊物 | 《淮北煤师院学报(自然科学版)》 |
| 发布时间 | 2004年 |
摘要：采用射频磁控溅射方法分别在蓝宝石(Al2O3)(0001)和硅(100)衬底上制备ZnO薄膜.通过X-光衍射测量与分析表明两者都沿C轴方向生长,在Al2O3衬底上的ZnO薄膜结晶质量优于在Si衬底上的薄膜样品.然而,由原子力显微镜观测发现在Al2O3衬底上的薄膜晶粒呈不规则形状,且有孔洞,致密性较差;而在Si衬底上的ZnO薄膜表面呈较规则的三维晶柱,致密性好.光致发光测量表明,不同衬底上生长的ZnO薄膜表现出明显不同的发光行为。
1引言近年来,由于蓝绿光发光管、激光器及其相关器件的巨大应用前景,使得对这类发光材料的研究成为关注的焦点,其中以GaN及其相关材料的研究最为引人注目.相比而言,ZnO材料的研究则没有受到足够的重视.事实上,ZnO不但和GaN具有非常相近的晶格特性和电学特性,而且ZnO具有更高......
目录
1、引言
2、实验
3、结果与讨论
4、结论
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