深紫外LED的研究进展与产业化应用
摘要: 随着LED技术不断发展,其发光波长已经由可见光波段拓展到深紫外波段,其技术逐渐成熟和成本下降将使得紫外LED应用更加广泛,甚至可能超越目前的蓝光LED。从深紫外LED的发光特点,制作工艺等方面,重点介绍深紫外LED的目前的研究进展与产业化应用。
目前的研究进展及存在问题
经过10多年研究和发展,280 nm以下的深紫外LED外量子效率已超过5%,对应发光功率大于5 mW,寿命达5 000 h。功率的提升推动应用领域的发展,深紫外线LED的用途包括:光学传感器和仪器(230~400 nm)、紫外线身份验证、条码(230~280 nm)、饮用水杀菌、便携式杀菌(240~280 nm)。
2.1 功率低
深紫外LED外量子效率已超过5%,但与蓝光的60%相比仍然很低,其原因如下。
(1)模板材料质量缺陷,在蓝宝石上外延的A1N材料的位错密度高达1X109cm2,而图形衬底生长的GaN材料的位错密度约为1 X10 7cm2,故采用图形衬底提高模板材料质量。
(2)多层结构中深紫外光的全内反射损失,以及P型电极的吸收导致光提取效率差,目前光萃取效率只有6%。须取得对p型欧姆接触的突破,减少对高吸光p-GaN的依赖;优化多层异质结之问的折射率差;运用图形衬底;粗化出光面。
(3)高铝组分的A1GaN会出现明显的量了极化效应,使量子阱和垒中出现极化电场,导致工作电压升高和量子效率下降。解决办法为使用非极性面(如a面)蓝宝石作为衬底,或采用组分渐变方法进行抵消。
2.2 散热性差
外量子效率低致使大部分电能转化为热能,因此散热问题很关键。从芯片和封装方面看,薄膜倒装深紫外LED和倒装焊深紫外LED可以提高散热,可制作高功率深紫外LED。
2.3 寿命低
与蓝光的100000h比,深紫外LED的寿命只有5000h,其低寿命主要归因于材料缺陷和散热不良,以及封装材料受紫外线照射易老化。
深紫外LED的应用
深紫外LED与传统的紫外汞灯性能对比见下表,紫外LED具有的优势如下。
(1)高效:单位面积的光强超过汞灯的1 000倍。比如单颗LED的发光面积仅仅为0.3 mm X 0.3mm但光功率大于1mW,而汞灯在如此小的面积上发出的光功率不到1 mW 。
(2)环保:半导体材料无毒无害,紫外LED也不含任何有毒物质。
(3)节能:同样的光输出功率,耗能仅是汞灯的1/10。
(4)可靠:体现在开关特性和使用寿命可智能控制方面。由于LED的发光特性,脉冲式的开关对LED的寿命没有任何影响,6V的直流电接通就同步发出紫外线,而汞灯的开关则直接影响其寿命,因此与传统的汞灯相比,LED的紫外线发出和控制极为简单便利。

3.1 杀菌消毒
紫外线有效消毒的波长区间为240~300 nm,它可以破坏细菌的复制基因链,使其无法复制,从而达到杀菌目的,其杀菌特点如下。
(1) 杀菌过程是1个物理破坏过程,与化学药剂不同,它不受温度、浓度、活性等化学平衡条件影响。
(2)无毒、无残留和无异味。
(3)细胞壁和病毒蛋白质外壳均对深紫外线无法阻挡。
(4)对DNA、RNA造成统一破坏,不必更换药品。
(5)不必使用组合药剂。
(6)特别适合空气、水和物体表面消毒。
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