长期以来，中国LED外延芯片MOCVD设备市场一直被美国维易科(Veeco)和德国爱思强(Aixtron)两大巨头霸占，虽然中国本土化设备已经开始走进企业生产线，但是，习惯于使用进口设备的国内LED芯片企业对国产设备的认知还需要跨过“信心门槛”。

　　最近一年多，两大巨头的低价竞争更让中国本土设备企业面临极大的生存挑战，使得MOCVD设备产业进入门槛变得更高。面对海外设备商抛出的竞争性压迫，中国MOCVD设备企业能否顶得住压力，扛起国产化的大旗，实现国产MOCVD设备“虎口夺食”?为此，记者专访了中微半导体设备有限公司(简称“中微”)资深副总裁杜志游博士，请他介绍了中微在加速MOCVD设备国产化进程中获取的宝贵经验。

　　重视研发 强化专利

　　像在其他许多高技术行业一样，半导体设备行业，已经盘踞市场的先行者们绝不会轻易给“后来者”以瓜分的机会。打专利牌、在知识产权问题上“找茬”的手段最为常用。然而，中微对此早有准备，见招拆招，得心应手。

　　中微面对巨头们的专利“挑衅”，不是退缩和忍让，而是沉着应战、攻守得当。中微所经历的几场国际专利官司无不以胜诉或和解收场，这已经在业内被赞为中国知识产权保护的佳话。

　　杜志游博士表示，从中微过去和美国的半导体制造巨头之间的几场专利官司可以看出，中微在专利申请和保护上一贯十分重视和谨慎，在注重自身专利保护的同时也不侵犯别人的专利。因此，中微从来没有输过专利官司。可以这么说，中微树立了中国企业在专利保护方面的典范，改变了中国的高科技公司在知识产权方面相对“软弱”的局面。

　　中微在专利官司上能做到“知己知彼，百战不殆”，当然这也得益于其背后优秀的科研团队和知识产权团队作为支撑。同时，中微优秀的科研团队不断地创新，支撑起了一个保护自主知识产权的专利体系。据了解，目前中微有一半以上的员工从事研发工作。

　　从研发上来说这是一个很大的团队。通过十年的发展和积累，中微已经申请了几百余项国内外专利，涉及MOCVD的专利已超过百项，其中大部分专利已被授权。从研发团队的组建到专利技术的申请，企业的投入之重令人叹服，这也足以看出中微在微观设备研发和创新上所做的不懈努力。

　　中国的半导体设备工业起步较晚，在这样的情况下企业如何吸引全世界的人才，成为企业长足发展所要考虑的另一个重要因素。“中微是一个研发型企业，其核心不是说企业有多少设备、多少厂房、多少土地，而是说有多少优秀的、一流的人才。人才在中微被视为企业发展的头等大事，中微为此不遗余力。”杜志游博士告诉记者。

　　目前，中微拥有三大类产品，第一大类是最早研发的等离子介质刻蚀机，主要使用在半导体IC芯片制造行业;第二大类是硅通孔刻蚀设备，主要用在IC芯片的先进封装上;第三类就是MOCVD设备，主要用于半导体照明LED芯片的生产。

　　杜志游博士表示，“为保证我们的产品能够在国际市场上取得竞争优势，就要在技术上不断创新，并且使产品具有更高的性价比。在中微，我们一直有一个‘为整体经济效益创新’的产品革新理念，也就是说，要让我们的产品使用者，乃至顺着产品链向下游延伸的企业，都能因为我们的创新而获得经济上的效益，这比技术上的革新更难，但却更有意义。中微一直都在朝着这个方向努力。”

　　打破门槛 崭露头角

　　当前，美国Veeco和德国Aixtron两家公司占领了全球几乎所有的MOCVD设备市场。二者在国际MOCVD设备市场上的占有率多年来连续超过90%，形成了寡头垄断的格局，同样也垄断了中国的MOCVD设备市场。其技术水平、规模效应、品牌效应、客户资源等都达到了相当的高度。对于国产MOCVD设备来说，要实现设备的国产化，除了要面对来自巨头们的竞争压力，还有一道用户的“信心门槛”有待跨越。