《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》曾明确提出，“十二五”期间将“实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化”。

　　“十二五规划”在2015年即将到期，LED设备国产化的目标正在加速实现。目前从蓝宝石材料开始，一直到PSS、外延、芯片端，再到最后的减薄等工艺，国产设备已经能够一部分地取代进口设备。我国LED专用设备、仪器和材料配套能力正在逐步形成。

　　自主创新的金属有机源(MO源)实现大规模应用，占国内市场的60%以上;蓝宝石衬底材料可满足国内市场需求的50%以上， 2013年和2014年电子发展基金项目支持的MOCVD等国产设备相继进入芯片生产线试用，从目前情况来看，进展顺利。

　　同时，多种LED生产专用设备和多种光、电、色、热性能检测仪器等已经用于LED生产线，运行稳定。经过十余年的努力，国内设备生产企业在部分领域取得了突破，获得了较高的市场份额。但是还有很多环节的市场主要被国外企业占据。目前国内多家企业生产的MOCVD设备被有多家外延芯片企业试用，而其他设备如研磨机、清洗机、甩干机、蒸镀机、裂片机、点测机、分拣机等，市场上虽有部分国产设备，但一般都很难超过30%的份额。主要阻碍来源于技术方面，研发成本较高、研发周期较长、技术更新快之外，市场推广也很难。国产设备没有量产的检验及反馈后的改进，因此在稳定性上略有不足。

　　但是总的来说，国产设备的出现带来了一系列优异的本地化服务，直接影响到了进口设备厂商的产品价格和服务态度。例如，国产MOCVD设备的出现，虽然现在还没有形成气候，但是已经使得进口MOCVD设备价格大幅下降，生产商服务态度大幅好转，而国内生产企业的积极使用也大大促进了设备国产化，形成了正能量的良性循环。