显微镜

　　国际巨头将中国作为重点市场

　　爱思强：

　　80%MOCVD设备供给中国

　　作为全球最大的MOCVD设备供应商也认为，当前中国极力推动LED产业发展对他们来说是很大的机会。德国爱思强股份有限公司总裁兼首席执行官Paul Hyland指出：“当前爱思强90%的收入来自于亚洲，而这其中中国是最大的市场，我们的设备80% 是给中国供货。未来，中国市场仍将是爱思强发展的重点，爱思强将与客户一起协作，互相支持。

　　尽管由于行业不景气，爱思强(Aixtron)公司刚刚在今年9月份下调了今年的销售目标，从之前的8-9亿欧元降至6-6.5亿欧元。但爱思强对于中国市场仍然非常看重。据新世纪LED网记者了解，正是看重中国市场的巨大前景，爱思强宣布在上海建实体子公司，取代其上海办事处，此举是为不断增长的中国客户提供更好的服务。上海分公司将更快捷地为中国客户提供零部件、扩大服务范围。公司同时寄望此举为其即将在中国下一步的扩张提供便利。公司表示今年将进一步加大在中国的投资，计划投资60亿美元加大市场开拓。

　　MOCVD反应器产能再上一层楼

　　继成功推出CRIUS® II-L后，爱思强11月8日宣布MOCVD反应器的产能再上一层楼。19x4英寸规格的新型CRIUS® II-XL反应器产能超卓，产量及产能均问鼎世界之最。此外，CRIUS II-XL具备了同级设备中最优化的运作成本和占地效益。

　　CRIUS® II-XL主要采用CRIUS® II-L的硬件配置。“需要更换的组件只有一项，就是衬托器底板。更换该部分以后，反应器的产能将大大提高，而且基本上无需额外成本”爱思强Close Coupled Showerhead® (CCS)近耦合技术喷淋头反应器技术的项目经理Johannes Lindner博士表示，“这是让CRIUS® II-L尽可能顺利升级成CRIUS® II-XL的其中一个关键设计标准。除此之外，只需作出极少的工艺调整就能升级至CRIUS® II-XL。”

　　此款CRIUS®反应器系列的最新机型同样是根据市场需求(尤其是针对发光二极管制造成本)进行详尽分析后研发而成。“市场对高成本效益的发光二极管制造需求强烈，而我们深知MOCVD对降低成本意义重大，”爱思强营销副总裁Rainer Beccard博士表示，“众多参数当中，反应器的产能对总体拥有成本的影响最大。因此，我们决定设计出19x4英寸规格的反应器。这一反应器已由爱思强应用实验室进行全面检测，确保除了出众的产能以外，其一致性及良率也无可挑剔。可以选择使用2英寸到8英寸之间任何尺寸的晶圆，硬件上只需简单的更换石墨盘，不需要其它硬件或工艺上的调整。”

　　CRIUS®II-XL是爱思强CCS产品系列的最新出品，实验证明，该产品可在长达数年的时间内提供最佳的生产稳定性并保持良好运作。MOCVD系统的标准功能包括反应器在位的高度调整，以便在任何工艺环境下都可以选择最优化的反应器结构，该系统还配备独特的ARGUS在位监测设备。

　　下一页：Veeco投资3000万美元在亚洲建研发中心