SJ/T 11396-2009 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片

摘要： 主要规定了氮化镓基发光二极管用蓝宝石衬底片的技术要求、检验方法、检验规则、标志的规定、包装、运输和贮存的要求，以及相关工艺和工艺环境的要求等。本标准适用于制备半导体发光二极管的外延氮化镓的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。