GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片
2011-07-29
作者：未知
来源：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
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摘要： 本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
发布部门： 国家技术监督局
发布日期： 1992-01-02
实施日期： 1993-08-01
首发日期： 1992-12-28
复审日期： 2004-10-14
归口单位： 全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
起草单位： 天津半导体技术研究所
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