全球高亮度LED市场:日本居首 中国仅占2%
摘要: SEMI公布了目前LED的全球总体情况。高亮度LED市场方面,2010年全球营收为108亿美元,同比增长93%。其中,日本以33%的占有率居全球之首,韩国以28%居次席,中国只占2%。
不过,Veeco大中华区总裁王克扬表示,随着青岛嘉星晶电、江苏协鑫光电科技、欧亚蓝宝光电、浙江水晶光电、天通、哈工大光电、重庆四联、云南蓝晶和贵阳工投等大陆厂商蓝宝石底板的投产,之前一直困扰业界的蓝宝石缺货问题已基本解决。
王克扬指出,一旦通用照明市场需求起来后,4英寸蓝宝石底板的采用率就会加速,可能会从目前的27%增长到50%左右。
但业内人士对通用照明市场出现快速发展的时间看法有所分歧,有人认为2012年就会出现,而另一部分人认为,至少要到2015年才能看到这种情况。
MOCVD反应腔设计
MOCVD反应腔的设计对薄膜厚度一致性和材料质量非常关键。理论上,所有MOCVD的加工都采用沉积模式,但涂层一定要保证加工的稳定性。
间距决定着腔体体积和表面积,间距控制不好会引起颗粒问题,并造成钼元素的浪费。虽然窄间距可以使气体更好地分配并减少钼的消耗,但会使喷头频繁出现堵塞;而宽间距虽然使用较多的钼,但可以保证加工的稳定性,并避免出现颗粒问题。
良好的MOCVD反应腔设计要保证供气的均匀性;加热问题;减少预反应;不能有腔体残留未反应的现象。
另外,王克扬表示,托盘优化和温控改进可增加机台产能(见图6)。为了有效控制外延成本,高产能的MOCVD需要多功能的生产方式。在Veeco制造的生产高亮度LED所用的MaxBright氮化镓MOCVD多反应器系统中,MaxBright将多个高流量MOCVD反应器运用到模块化的2个或4个群反应器中,实现 FlowFlange和自动化技术。其优势是,比标准K465i的产量高25%,具有很好的一致性、可重复性和材料质量。

图6:托盘优化和温控改进可增加机台产能
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