中国的半导体设备行业在世界舞台上已经崭露头角，这是国家的关注支持以及中国微电子设备行业不断进取创新的结果，北方微电子就是中国微电子设备厂商中的佼佼者。由北方微电子研制生产的ELEDE™330作为我国首台直接面向LED大生产线的ICP刻蚀设备在不久前实现了销售，这既是北方微电子半导体设备技术在LED领域的成功扩展，也标志着国产LED设备已得到主流生产线的认可，有力推动了高端LED设备的国产化进程。北方微电子总裁赵晋荣表示，希望此篇对话可以增强LED制造产业界对本土设备的信心，赵晋荣坚信将来中国制造的设备一定会在LED领域占据主流地位。

　　国产设备一定会在LED产业占主流

　　高工LED：在LED领域核心生产设备方面，我国一直处于相对落后的局面，与国际主流设备相比，国产设备在技术、品质方面还存在差距，同时市场占有率较低，关键因素在哪?

　　赵晋荣：设备是工艺技术的物化，一代工艺技术，造就一代工艺设备。国产设备与国际主流设备的确存在差距，但就当前来看，设备制造技术、质量保证、可靠性、稳定性方面与国外主流厂商差距已经不大。随着关键零部件进口限制取消，国产设备的可靠性也大幅提高，此外控制技术、软件技术更有超越的能力和趋势。造成目前国产设备占有率低的主要原因是中国在芯片制造工艺技术上还处于跟踪和起步阶段，还达不到世界领先，所以设备选型也以国外成熟的工艺和设备为主。随着中国LED芯片工厂工艺技术的不断成熟，对国外工艺技术的依赖会逐步降低，国产设备一定会渐渐成为主流。

　　高工LED：我国LED领域核心生产设备的发展现状是什么样?

　　赵晋荣：目前中国LED产业刚刚兴起，工艺技术与国际先进水平还有相当差距，技术以跟踪为主，当然设备选择以国际主流成熟设备制造商为主。近年来随着中国LED产业的蓬勃发展，已经出现一大批很好的设备企业进入该领域，包括MOCVD设备国内也已有数家很有实力的设备公司、科研机构以及芯片厂进行研发，我相信一个行业、一项技术只要给予足够的重视、广泛的关注和支持，再通过坚持不懈的努力，就一定会有进展，成功只是时间问题。

　　本土设备的优势在哪里

　　高工LED：本土设备还是有着不可忽视的优势，比如近距离接触客户、服务周到等，既然与国外主流设备的技术差距不是很大，选择国产设备的客户肯定会考虑国产设备的优势所在。

　　赵晋荣：首先，国产设备贴近客户、服务快捷，本土设备厂商是随叫随到的。北方微电子将企业经营的落脚点设立为市场和客户，让每一名员工都本着为客户着想的理念去处理问题，实现对客户的“迅速、高效、有问必应”。现今，“设备卖到哪里服务中心就开到哪里，工程师就跟到哪里”已经成为北方微电子服务的特色。

　　其次，面对设备使用中的一些技术问题，国外的设备基本上是现场服务工程师在解决，而国内是产品的设计者和客户见面，解决问题的速度非常快。而且为客户提供量身定做培训服务。

　　高工LED：貌似不起眼的零部件国产化问题是目前设备产业面临的最大困惑之一，目前本土生产的先进半导体设备的核心几乎都采用进口的零部件。如何抓好基础的基础，即零部件产业，是多年来本土半导体设备公司发展的瓶颈之一。在产量无法与国际先进水平相提并论的今天，国产零部件的价格实际比竞争对手还要高。但国产设备销售的价格却必须比进口设备低，这种状况应该怎么改变?

　　赵晋荣：零部件的质量、交货期、价格、服务水平的确是设备产业的基础，也是一个国家和地区基础工业水平和能力的标志，但近年来中国零部件能力已经有了非常大的进步。在基础零部件领域有了一批出色的外资、合资、民营企业，他们很多已经成为国外世界级设备企业的主流零部件供应商，同时也成为中国本土设备企业的有力支持者。

　　此外，国际主流的零部件制造商也纷纷在中国设立制造工厂、技术开发中心、维修服务中心，相比几年以前在沟通和技术支持上已经非常方便，这也给中国设备产业发展带来很大的支持。

　　北方微电子以成为一家国际级的高端设备企业为目标，追求的零部件供应商必须是在质量、价格、服务诸多方面都具备国际水准。我们是在追求国产化率，但其宗旨是追求沟通的方便性、交货的及时性、价格合理性和服务的长久性。国外很多设备企业的零部件已经有相当数量在中国制造，我相信几年以后零部件将不再成为制约中国设备业发展的瓶颈，反而成为中国装备产业的优势。

　　高工LED：从产品开发到成熟、再到市场认可，通常需要几年的时间，再加上市场会起起伏伏。单纯依靠某个单一产品，企业的生存和发展会受到很大的制约。以北方微电子为例，国产设备业在发展中需要注意哪些问题?

　　赵晋荣：半导体工艺装备的确是一个非常复杂的系统，涉及机械、电子、化学、高频、软件、真空、自动化、材料等领域，其高可靠性、安全性、稳定性、维护性等要求与航空航天相当，需要非常高的研发和制造管理水平，是门槛极高的行业。一个产品从研发到应用的确要几年时间。一个设备公司的生存需要多领域多产品支撑，所以北方微电子通过集成电路刻蚀机成功的经验，辐射到太阳能、LED、OLED等领域，但产品战略只是三大类，刻蚀、CVD、PVD，因为这三种设备都是以等离子体技术、真空技术、材料科学、软件工程为核心技术的装备。只是应用领域不同而已。

　　高效LED工艺研究及成套设备解决方案的提供商

　　高工LED：国产半导体设备业经历了什么样的发展阶段•在不同的大环境影响下，北方微电子如何调整发展策略?

　　赵晋荣：60-70年代，2〞3〞4〞时，中国半导体产业基本全部采购国产设备;80年代改革开放时开始引进国外设备，国产设备受到严重冲击，5〞6〞8〞12〞集成电路基本为引进、引进、再引进;90年代国产半导体设备主要应用于电力电子器件(整流管和大功率电源模块);进入2003年后，随着太阳能电池片产业的急速扩大，国产半导体设备进入了一个大发展时代，扩散、清洗、刻蚀、PECVD等国产设备每年销售在几十亿元以上，设备的可靠性、稳定性与国际主流水平相当，也造就中国太阳能产业进入国际一流行列的有力支撑。同时，近年来，在8〞12〞集成电路主流工厂也已开始安装国产设备，如北方微电子的刻蚀机、七星电子的扩散炉等，技术水平基本达到国际主流水平。当然，这也与国家2003年后对集成电路设备业的大力支持是分不开的，目前国产太阳能及集成电路装备的主流厂家七星电子、北方微电子、北京中科信、中电48所、中电45所、沈阳芯源、上海微电子等都是国家重点支持单位，这些公司近几年在太阳能及集成电路产业也都取得了非常好的业绩。

　　与太阳能产业相似，相信通过几年的努力，LED产业一定是国产设备占主流的行业。北方微电子看到了LED产业的前景，会加大投资力度，坚持以工艺解决方案来赢得客户的信任，以卓越的服务和技术支持、及时备品备件提供来取得市场份额。

　　高工LED：本土设备商在太阳能、LED、平板显示等领域崭露头角。北方微电子公司在100纳米等离子刻蚀机成功销往中芯、华虹、宏力后，又研制出LED等离子刻蚀机，ELEDE™330作为我国首台直接面向LED生产线的刻蚀设备，这对北方微电子在LED芯片领域将是标志性的事件。北方微电子未来在LED设备领域的规划和定位是什么?

　　赵晋荣：北方微电子公司自2003年以来，通过以客户需求为导向的自主创新率先实现了8英寸和12英寸高密度等离子刻蚀机在大生产线上的应用，成为进入中国8英寸、12英寸集成电路主流生产线的第一家国产设备制造商。

　　针对绿色能源产业的蓬勃发展，北方微电子在2008年初启动了平板式PECVD设备的开发，力争将半导体技术的先进理念导入太阳能电池制造设备领域，改变太阳能电池高端设备不能中国制造的现状。两年时间自主开发完成了大产能平板式PECVD设备，并成功应用于国内主流生产线。

　　鉴于LED与半导体技术的互通性，北方微电子充分发挥设备和工艺开发优势，仅用了7个月的时间完成了ELEDETM330高密度等离子体刻蚀设备的开发。作为我国首台直接面向LED生产线的大产能刻蚀设备，该设备充分重视系统的工艺拓展性，可满足蓝宝石衬底图形化刻蚀、GaN基外延层刻蚀等多种应用，用集成电路工艺更为精准的设计要求来实现LED领域更高性能的刻蚀需求，更大程度的满足LED产业对干法刻蚀工艺的需要。目前该设备已完成生产线工艺验证，开始芯片的批量生产。

　　随着我国LED产业的不断升温，北方微电子将凭借已有完善的研发、制造基础设施和先进的管理、服务理念，以刻蚀机为突破口，通过工艺引导设备开发，广泛与LED芯片生产厂商合作，最终成为高效LED工艺研究及成套设备解决方案的提供商。