曙光(四):TFT有多项候补技术
摘要: 首先来看TFT的改进方法。低成本化的前提是使用与电视液晶面板相同尺寸的玻璃底板来制造TFT。但大型液晶面板使用的非晶硅TFT和中小型液晶面板使用的低温多晶硅(LTPS)TFT都难以直接用于OLED。为此通过改进大型OLED面板的制造工艺,无需激光退火处理的多晶硅TFT以及非晶氧化物半导体TFT等有望得到采用。
与之相比,SMD开发的是名为“SGS(supergrain silicon)”的多晶硅TFT。该方法需要在非晶硅底板上涂布微量的镍作为晶核,通过热处理形成多晶硅。SMD在2008年10月首次公开的40英寸试制品上就使用了SGS工艺。
SMD还在开发名为“SLS”的激光退火处理技术。此外,索尼使用基于“dLTA”激光退火技术的微晶硅TFT,开发出了27英寸试制品。
为了控制TFT开电流误差导致的亮度不均,在外置驱动IC中内置补偿电路的开发也正在进行之中。主要开发商有柯达、加拿大风险公司IGNIS等。
氧化物半导体的再现性存在问题
在非晶氧化物半导体中,被认为最有希望用作大型OLED用TFT材料的是IGZO(In-Ga-Zn-O)。IGZO TFT的载子迁移率为10cm2/Vs左右,阈值电压的变化也与LTPS相当。其魅力在于能够利用溅射法制造,应用时无需对液晶面板生产线做较大改动。未来,除溅射法外,IGZO TFT还有望使用涂布工艺制造。这将会使成本进一步降低。
积极进行氧化物半导体TFT开发的主要是韩国和台湾的面板厂商。在FPD International 2009上,OLED面板和液晶面板试制品纷纷出现。其中以SMD的19英寸面板尺寸最大。展会上表明采用非晶IGZO的是LG显示器和台湾友达光电(AU Optronics)。三星集团虽未公开氧化物半导体的种类,但该公司一直在使用IGZO TFT进行试制,展会上的展品很可能采用的也是这种材料。
日本厂商中,夏普和佳能正在开发IGZO TFT。
氧化物半导体的课题在于制造工艺再现性差。但是,“通过在成膜后施加热处理,这一情况有望得到某种程度的改善”(LG显示器Kim)。(编辑:CBE)
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