山东省半导体照明用管芯等产品项目招标
2008-11-17
作者：未知
来源：ledinside
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摘要： 山东省半导体照明用管芯等产品项目招标。
加 入 日 期： 2008-11-14
截 止 日 期： 2008-12-04
地 区： 山东省
项目名称：半导体照明用外延片、管芯、器件及应用产品项目
受买方委托对下列产品及服务进行公开竞争性招标，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
1晶体结构分析台1台
2电化学CV 1台
3图谱仪 2台
4氢气纯化器 2套
5氮气纯化器 2套
6氨气纯化器 2套
7检漏仪 2台
8气体吸收处理装置 1台
9光学形貌检测仪 8台
10 外延片快速检测仪 1台
11 压缩排气系统 2台
12 露点仪 2台
13 清洗台 21台
14 ITO电子束蒸发台 2台
15 蓝宝石激光剥离机 1台
16 电子束蒸发台 5台
17 自动光刻机 2台
18 光刻机 6台
19 自动甩胶机 1台
20 快速合金炉 3台
21 ICP刻蚀机 2台
22 PECVD 2台
23 等离子清洗机 2台
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