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蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延zno薄膜

在室温条件下,采用磁控溅射方法在蓝宝石(0001)衬底上制备了外延的zno薄膜。采用原子力显微镜(afm)、x射线衍射仪(xrd)、可见-紫外分光光度计系统研究了zno薄膜微观结

  https://www.alighting.cn/resource/20110905/127198.htm2011/9/5 14:35:18

si基zno/ga_2o_3氨化反应制备gan薄膜

利用射频磁控溅射法在si(111)衬底上先溅射zno缓冲层,接着溅射ga_2o_3薄膜,然后zno/ga_2o_3膜在开管炉中850℃常压下通氨气进行氨化,反应自组装生成gan薄

  https://www.alighting.cn/resource/20111025/126963.htm2011/10/25 14:55:29

氧化处理的蓝宝石基片上沉积的zno/mgo多量子阱的结构及光学性质研究

采用射频反应磁控溅射的方法,在经过氧化处理的al2o3(0001)基片上制备了具有良好调制结构的zno/mgo多层膜量子阱.利用x射线反射率测量、x射线衍射分析、电子探针显微分析

  https://www.alighting.cn/resource/20110906/127190.htm2011/9/6 14:26:27

si掺杂zno薄膜的制备及光学性质的研究

实验利用磁控溅射方法,采用zno陶瓷靶,以石英为衬底,制备了不同si掺杂浓度的样品,并在氧气氛下对样品做了不同温度的快速退火和随炉温自然退火处理,为了对比,实验采用了同样的制备方

  https://www.alighting.cn/2011/10/17 13:48:48

cu掺杂zno薄膜的光学性质

采用射频反应磁控溅射方法,在si(100)和石英基片上使用双靶溅射的方法制备了cu掺杂zno薄膜。利用x射线衍射、透射光谱和光致发光光谱分析了薄膜的晶体结构及光学性质,并与密度泛

  https://www.alighting.cn/resource/20110916/127133.htm2011/9/16 14:44:13

蓝宝石头罩增透保护膜系的制备

膜其厚度不均匀性小于8.5%;雨蚀测试后,蓝宝石验证片的平均透过率损失小于1.0%.涂层通过雨蚀测试后,采用射频磁控溅射法在蓝宝石头罩上制备了sio2薄膜

  https://www.alighting.cn/resource/20110902/127208.htm2011/9/2 17:39:18

不同衬底生长zno薄膜的结构与发光特性研究

采用射频磁控溅射方法分别在蓝宝石(al2o3)(0001)和硅(100)衬底上制备zno薄膜.通过x-光衍射测量与分析表明两者都沿c轴方向生长,在al2o3衬底上的zno薄膜结

  https://www.alighting.cn/resource/20130123/126126.htm2013/1/23 13:45:44

玻璃和柔性衬底上氧化铟锡薄膜特性的对比研究

对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)塑料上的氧化铟锡(ito)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究。实验结果证明,完全可以采用磁控溅射的方法在柔性

  https://www.alighting.cn/resource/20130123/126128.htm2013/1/23 10:29:32

膜层厚度对蓝宝石衬底上生长的ito薄膜性质的影响

采用磁控溅射的方法在蓝宝石衬底上制备了氧化铟锡(ito)透明氧化物薄膜;研究了不同厚度薄膜的结构、光学和电学特性。经x射线衍射(xrd)测量,发现在蓝宝石衬底上生长的ito薄膜呈

  https://www.alighting.cn/resource/20110909/127167.htm2011/9/9 9:52:23

mocvd反应器中瞬态热流场的数值研究

在mocvd 反应器中外延异质结构的材料时,用来生长晶体的各组份和掺杂剂,都是以气态方式进入反应器的;该系统通过周期性地切换各种反应气体控制其流入量,在衬底上外延出特定组份、特

  https://www.alighting.cn/2012/4/9 17:29:55

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