塞伦光电发布半极化氮化镓/蓝宝石复合衬底
摘要: 现在市场上广泛使用的极化(c 平面)氮化镓材料具有很强的自发压电极化特性,这一点是许多器件性能问题的主要原因,比如内部量子效率的减小,阱厚度的限制,高的正向电压,载流子的溢出等等,从而严重削弱了材料的电光转换效率,从根本上限制了发光效率提升。
由蓝宝石和(11 2 2)取向半极化氮化镓模板构成
2 英寸或更大尺寸
适用于不同尺寸的大规模生产
优异的材料性能、低缺陷密度、低成本
很小的复合衬底曲度
现在市场上广泛使用的极化(c 平面)氮化镓材料具有很强的自发压电极化特性,这一点是许多器件性能问题的主要原因,比如内部量子效率的减小,阱厚度的限制,高的正向电压,载流子的溢出等等,从而严重削弱了材料的电光转换效率,从根本上限制了发光效率提升。而半极化蓝宝石/氮化镓复合衬底的使用则在低成本的前提下通过削弱自发压电极化而大幅提高发光效率。目前半极化氮化镓衬底主要通过锯切 HVPE 或氨热技术生长的氮化镓晶柱获得,其小尺寸限制使现有半极化氮化镓衬底获得法无法满足大尺寸、工业标准化的量产需求,过高的生产成本更使其商业化进程几乎为零可能。
塞伦光电所拥有的世界最先进的生长方法克服了这些问题,能够在 2 英寸或更大尺寸的蓝宝石衬底上生长一层很薄的氮化镓模板(无需缓冲层!)以构成半极化蓝宝石/氮化镓复合衬底,其缺陷密度和材料质量明显优于市场上任何类似产品。
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