2011年，在国家战略性新兴产业规划和产业升级的推动下，我国LED上游外延片、芯片制造业迎来了新一轮的投资高潮。LED产业的发展为设备企业带来更多的发展机遇，作为国产高端LED设备制造商的代表，北方微电子(NMC)凭借其过硬的技术基础和本地化的服务优势，在产业的快速成长中取得了骄人的成绩。北方微电子(NMC)开发的ELEDE 330等离子刻蚀机作为我国首台直接面向LED生产线的大产能ICP刻蚀设备于2010年首次进入市场，通过多家生产线验证，其优秀工艺性能、较高生产能力和竞争力的价格，赢得了众多客户的认可和好评。

ELEDE™ 330 LED刻蚀机

　　今年上半年，该设备先后实现了对上海蓝光、大连路美、江门真明丽、普吉光电、同方光电等多家生产线的销售，尤其是获得了东莞中镓半导体、上海蓝光等厂商的二次批量采购订单。北方微电子作为国产LED设备企业的代表正在通过不懈的努力，逐步打破国外高端设备的垄断局面，推动我国LED产业链的健康发展。

　　6月9日，2011年世界最大照明展暨LED展期间，记者有幸邀请到北方微电子(NMC)总裁赵晋荣先生做客新闻直播室，畅谈企业及行业发展。

　　瞄准高新产业需求，才能把握产业脉搏

　　记者：我们看到NMC在集成电路、光伏、LED三者的市场都有所为，为什么选择不同的领域全面介入?在这三个方面在技术上有什么不同?

　　赵晋荣：集成电路、光伏产业和LED是我国近年快速发展的高新技术产业，并同属我国战略新兴产业范畴。在核心技术方面，光伏和LED与集成电路领域有一定的相似性，在生产流程和工艺设备方面也有很多互通性。北方微电子作为我国首家将高端集成电路工艺设备应用于大生产线的本土设备供应商，很早就开始关注代表绿色能源和节能环保的光伏和LED领域，将先进的集成电路设备技术应用于这两个产业，开发了适用于大规模LED生产线使用的ICP刻蚀机和晶硅太阳能电池平板式PECVD设备，填补了这两个领域高端设备未能国产化的空白。

　　对于集成电路产业，虽然我国近十年来取得了长足进步，但由于该产业国内外还存在着若干个技术代的差距，中国要赶超拥有顶尖产品和技术的国际企业还需要很长时间。但对于太阳能产业，我国虽起步较晚，但伴随关键技术的攻克和制造能力的不断提升，短短几年已经跃居世界前列。与此类似，我国LED产业在技术和工艺上目前虽和国外有一些差距，但相信凭借制造业的综合优势，在几年内达到世界先进水平是有可能的。

　　LED产业的创新应该是全产业链的创新

　　记者：目前，国内LED领域设备几乎被国外厂商所垄断，国内技术平台上，刻蚀机有哪些技术瓶颈?今年NMC推出的这个LED ICP等离子刻蚀机，对于国内LED生产企业有什么意义?

　　赵晋荣：在刻蚀机技术上，北方微电子通过集成电路领域多年的技术积累和市场验证，已经实现了技术突破，是国内第一家进入纳米级设备生产制造的厂家，LED刻蚀机经过多家生产线的验证，其技术指标和生产能力，都达到了国际先进水平。我们认为，一个产业的创新应该是全产业链的创新，或者是在全产业链的基础上才可能相互促进不断发展。像日本的IT大厂，自身就拥有非常强的装备和材料研制能力，因此工艺创新非常快。在中国，设备是从国外买来的定型产品，因此工艺无法实现特制化，新的想法很难通过设备的改进而实现。中国的LED产业要实现技术的赶超，必须要在工艺和设备上走在世界的前列。北方微电子推出的ELEDETM330刻蚀机，就可以为LED芯片制造企业创造这种开发环境，不管是什么样的图形，凭借北方微电子刻蚀工艺技术，我们可以提供全套的解决方案，让客户将想法变成现实。LED产业要想领先，中国设备能力必须站在国际的同等水平上，北方微电子作为本土高端微电子装备制造企业，有责任也有能力为我国LED产业的发展创造这个条件。

　　服务的本地化与专利“游戏规则”

　　记者：NMC的刻蚀技术，在国内是领先的，产品优势在哪里?国际大环境下，如何解决专利和核心技术问题的?

　　赵晋荣：在技术和生产水平已经实现突破的基础上，国产设备最明显的优势体现在服务上。任何一台复杂的设备安装之后都不可能不出问题，出了问题之后就要维修，维修服务的成本，国内和国外是不一样的。由于时间和成本的差异，决定本土设备有竞争优势。面对设备使用中的一些技术问题，国内是产品的设计者和客户见面，解决问题的速度非常快，而且为客户提供量身定做培训和技术升级服务。

　　在专利方面，和集成电路领域相似。专利是一个战略，也是一个游戏规则。因此专利并不是那么可怕，熟悉规则去保护自己是关键。北方微电子很早就对涉及领域的产品进行了全面的战略分析，公司目前已申请的专利有500多项，其中300多项得到了授权，为我们的设备及配套的工艺技术提供了良好的技术保护和市场环境。

　　LED设备的国产化需要与芯片企业的生产合作

　　记者：在LED生产中，MOCVD备受关注，您对MOCVD的国产化怎么看?

　　赵晋荣：MOCVD外延工艺及设备是整个LED产业链的命脉，决定了整个产业的发展，其开发技术难度最大，需要大量的资金密集投入。作为一台工艺设备，MOCVD与半导体工艺设备有许多相似之处，因而可以充分利用国内开发半导体设备的平台，通过引进国际先进MOCVD专家和技术，同时利用国内研究单位在外延工艺积累的经验，去实现MOCVD装备国产化。在这个进程中，最大的难度是工艺上的考核，设备厂跟芯片企业如何结合起来，或者是和基础研究机构结合起来是非常重要的。

　　MOCVD的国产化面临较大的技术挑战和大量的资金投入，建议MOCVD装备国产化作为国家的一个战略性项目开展，需要国家在政策上加大对设备生产企业的扶持力度。

　　记者：LED产业设备的国产化之路障碍在哪里?您觉得LED产业要突破国外的垄断，真正实现装备国产、本土化，应该怎么做?

　　赵晋荣：设备国产化和制造技术进步是一个相辅相成的过程。芯片制造厂对设备有需求，才会有很多设备厂围绕着芯片厂的需求去做设计和开发，设备做出来之后也能促进芯片厂的发展。太阳能产业的发展就是明显的例子，电池片厂一开始依赖进口设备，为满足生产和技术需求国产设备逐渐进入市场，这些设备企业发展成熟后又促进了更多制造企业的建立和发展。对于LED产业，芯片制造企业的信任和设备企业的责任是推动设备国产化的关键，芯片厂对国产设备给予信任和扶持，为设备企业提供进入市场的机会和产品改进环境;设备企业以满足客户不断提升的技术需求和降低制造成本为己任，强化产品性能和服务水平，最终形成产业链上下游的紧密合作和相互促进，打破国外设备和技术的垄断，最终形成我国LED产业的竞争优势。