国内首台高端LED芯片制造用ICP刻蚀机交付使用
摘要： 近日，由北方微电子开发的ELEDETM330高密度等离子ICP刻蚀机完成组装调试，正式交付客户使用。ELEDETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展，该设备的成功上线，标志着国产LED刻蚀设备已得到主流生产线的认可，使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。作为我国首台直接面向LED生产线的大产能刻蚀设备，ELEDE?330可满足蓝宝石衬底图形化刻蚀、Si衬底刻蚀以及GaN基外延层刻蚀等LED领域所有刻蚀应用。
近日，由北方微电子开发的ELEDETM330高密度等离子ICP刻蚀机完成组装调试，正式交付客户使用。ELEDETM330是北方微电子半导体刻蚀技术在LED领域的成功扩展，该设备的成功上线，标志着国产LED刻蚀设备已得到主流生产线的认可，使我国高端LED设备的国产化水平得到了新的提升。作为我国首台直接面向LED生产线的大产能刻蚀设备，ELEDE™330可满足蓝宝石衬底图形化刻蚀、Si衬底刻蚀以及GaN基外延层刻蚀等LED领域所有刻蚀应用。
ELEDE™330采用了适用于大规模生产的高产能设计，一次可完成27片2英寸GaN基外延层刻蚀或22片2英寸蓝宝石衬底刻蚀，大大提高设备产出效率；系统集成了高密度等离子体源、高寿命机械卡盘、精密的腔室温度控制系统、稳定的高精度压力控制系统、IC标准的中央喷嘴进气系统和IC级别的腔室表面处理等多项先进技术，用IC刻蚀工艺更为精密的设计要求来实现LED领域更高性能的刻蚀工艺，以更大程度地提高LED芯片的发光效率。
（编辑:FJ）
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