2011年6月11日，“亚洲LED照明高峰论坛 -- 外延芯片技术与工艺和外延设备和材料”专题分会在广州琶洲展馆B区8号会议厅南厅举行。来自北方微电子LED事业部的副总经理刘利坚发表了《大规模LED芯片量产工艺设备的发展与挑战》的专题演讲。

　　首先刘经理简单介绍了北方微电子LED设备产品的概况，其中ICP系列产品已经成为了众多厂家的首选刻蚀设备，更加强调了ELEDETM330设备的领先优势——大产能设计与优异的工艺性能。

　　接着，刘经理重点讲解了北方微电子一个非常重要的增值部分——工艺控制系统APC电子软件。当前，在LED量产过程中存在的问题之一就是最终产量出现不合格品。而诸多厂家对此的解决方法就是对各个工序和重点设备进行费时费力的逐一排查。为达到控制最终产品质量能满足要求这一目的，北方微电子开发了APC软件。

　　APC软件主要包括三大功能模块，并据此建立自动预警机制：

　　1、 数据管理。对单台/多台设备的生产过程进行数据实时采集、显示、存储、导入导出和历史数据查询的功能;

　　2、 统计控制。统计过程监控(当值与数据的共同监测，更利于发现异常、及时预警)，离线质量分析，汇总统计报表(使数据可视化);

　　3、 故障诊断。控制模型管理(根据不同的标准值做出模型进行变量分析)，在线故障分析，离线故障分析，故障信息报表。

　　APC软件的其他特点还包括：可据不同支持、设备设置灵活的系统架构;可定制对外数据接口;可内嵌进生产设备，如设备ELEDETM330。