MOCVD设备气体输运关键技术的研究
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上传人：王卫星 上传时间： 2013-03-08 浏览次数： 81 |
摘要：MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)是生长高质量半导体薄膜材料的技术，在LED、半导体激光器、太阳能电池等多个领域都有应用。现有MOCVD 设备的成本非常高，且完全依赖进口，进行MOCVD 设备研究对国内半导体产业、新能源领域以及国防高端技术的发展都很有必要。
MOCVD 设备可以分为核心的腔体反应室、加热器、冷却系统、气体输运系统以及整体控制系统。本文重点研究了气体输运系统的设计，包括结构组成和部分控制难点，并对该系统今后的发展陈述了自己的观点。
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