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MOCVD法制备磷掺杂p型ZnO薄膜

上传人:周新翠,叶志镇等

上传时间: 2011-09-30

浏览次数: 77

作者周新翠,叶志镇,陈福刚,徐伟中,缪燕,黄靖云,吕建国,朱丽萍,赵炳辉
单位浙江大学硅材料国家重点实验室
分类号TN304
发表刊物半导体学报
发布时间2006年01期

  引言

  近年来,由于ZnO在光电领域的巨大发展潜力而受到了人们的广泛关注.这是由于ZnO作为一种新型的Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体具有许多优点,如室温禁带宽度大(3.37eV),激子束缚能(60meV)和激子增益(300cm-1)高,是实现紫外光电器件、发光二极管以及激光器最有潜力的半导体材料之一……

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