DLC接口及钻铜基材制造大功率的垂直LED
上传人:宋健民(博士) 上传时间: 2011-03-31 浏览次数: 383 |
LED的战国时代
提高LED性能的一种方法乃将电流由弯流改成顺流。由于蓝宝石基材不导电,LED正负两个电极乃设在同面。当电流通过GaN晶格时电流必须由垂直顺流改成水平横流,这样电流就会集中在内弯处,导致不能有效使用P-N接口的电子层和电洞层,因而减少了发光效率。更有甚者,电流集中之处会产生热点使晶格缺陷范围延伸,LED的亮度就会随缺陷扩大而递减。为了延长LED的寿命,输入的电流必须降低(如350mA),单位面积的发光亮度,就受到了限制。LED设计的主要设计有如下列诸图所示(如图3)




图3:LED芯片的主要设计示意(网络资讯)
LED电流转弯的问题不能靠封装的设计(如复晶或Flip Chip)改善,把电流截弯取直才是正道,这样必须把电极置于LED磊晶的两侧。电流平顺就可以明显提升LED的亮度。除此之外,相同亮度的顺流LED使用的芯片面积较小,因此晶圆上切出的晶粒数目较多,也就是单颗LED的制造成本可能降低。尤其进者,电流转弯时若扩大芯片的面积会使LED发光更不均匀。但是顺流LED其发射的光子数目则会由发光面积的加大而提高。所以一颗以大电流(如1A)驱动大面积的顺流LED,其亮度会大于具有相同面积的多颗横流LED。(如图4)

LED的顺流制造
制造顺流式LED时乃将一导电体(如CuW)软銲(如Au-Sn)在GaN的正极(P-Type)面。其后以雷射(如波长248nm的KrF气体雷射)从反面透明的蓝宝石面照入,就可气化GaN成为Ga及N2,这样蓝宝石就可以和负极(N-Type)剥离分开了。(如图5)

雷射剥离蓝宝石基材后暴露出的GaN负极(如加入Si Dopant)在抛光后其导电率及透光率比正极(如加入Mg Dopant)要高,因此不需镀上会吸光的ITO层做为电流散布层(Current Spreading Layer)就可在其上的部份镀上电极而制成LED光源。
CREE以半导体SiC磊晶基材生长GaN,在蒸镀反射层(如银)后软銲(Solder)导电的矽晶制成所谓的“垂直式”LED。这种间接制程不仅可将昂贵的SiC基材以雷射剥离收回再用,垂直LED也能加大芯片(电流)及减少亮度衰减。国内的晶电也以矽晶软銲在GaN晶圆上,而灿圆则以GuW合金软銲在GaN 的芯片上。旭明光电则以电镀金属(如Ni、Co、Cu)直接披复在GaN的晶圆上。然而软銲可能局部接合不良以致若干GaN芯片(Die)在切割(Dicing)后发光不亮。另一方面,不以软銲接合而以电镀沈积的接口结合强度不高,更有甚者,金属膨胀后可能自GaN表面剥离。有鑑于此,本文叙述一种新的垂直LED设计,乃采用“似钻膜”Diamond Like Carbon (DLC)为半导体和金属体的接口,不仅可避免软銲造成制造良率问题,也能舒解两种回异材料之间的应力。除此之外,DLC的热传导比铜快许多,因此以DLC为接口,可加速移除LED发光时产生的废热,而可能大幅延长使用寿命。
接口应力的问题
半导体(如GaN)和金属(如Ni-Cu)的接口极其脆弱。合金的热膨胀系数远大于GaN,在高电流密度下的温度较高处其接口应力会迅速上升。尤其在启动LED的瞬间电流自接口电阻最低处汇流时可能会产生爆点。除此之外,GaN晶格为六方晶系的würtzite结构,因此具有压电效应,界面应力产生的即时电场可以扰乱了LED内的电流分布。不仅如此,金属基材即使不自接口剥离,其膨胀也可能撑裂缺陷的某中区,以致在GaN内部产生更大的缺陷,加大的缺陷会形成微小的热点而造成光度衰淢的恶性循环。LED的电光效应因接口的疲劳会在数千小时后迅速降低。(如图6~7)

图6:各种材料的热传导率及热膨胀率的比较。图示钻石和铜的复合材料或“似钻膜”(DLC)不仅有较高的热传导率,也具有可调节的热膨胀率,因此能降低垂直LED的接口应力及加快散出电光效应产生的废热。

图7:LED寿命随接口应力加大而缩短的示意图。加大电流后寿命更会急遽衰减。
用户名: 密码: