清华大学研制出同位素纯硅外延片
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上传人：未知 上传时间： 2004-09-10 浏览次数： 53 |
据了解，目前用于半导体集成电路制造的硅片均由天然硅制成。而根据中子数的不同，天然硅又可进一步分为硅-28(约占92%)、硅-29(约占5%)和硅-30，此次获得的是同位素纯硅-28，其含量大于99%。由于同位素纯硅的微观结构比天然硅更加整齐，所以在半导体制造过程中更能显示出优越的特性。
据专家介绍，利用硅-28制成的半导体器件可望有更好的散热性、更快的速度，并可承受更高的功率。因为硅-28没有核自旋，这样的硅片在量子计算研究、新型传感器以及换能器研究中具有重要价值。
另据了解，国际上在这方面的研究刚刚开始，清华大学研制出的同位素纯硅外延片在国内尚属首次。
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