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【专业术语】基片|衬底(substrate)

上传人:ALINA

上传时间: 2011-01-11

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  采用的基片根据LED的发光波长不同而区分使用。如果是蓝色LED和白色LED等GaN类半导体材料的LED芯片,则使用蓝宝石、SiC和Si等作为基片,如果是红色LED等采用AlInGaP类材料的LED芯片,则使用GaAs等作为基片。

  因LED发光波长而使用不同基片的原因是为了选择与LED发光部分——半导体结晶的晶格常数尽量接近的晶格常数的廉价基片材料。这样做晶格常数的差距(晶格失配)就会缩小,在半导体层中阻碍发光的结晶缺陷的可能性就会减少。而且能降低LED芯片的单价。另外,蓝紫色半导体激光器等电流密度和光输出密度较大的元件,则采用昂贵的GaN基片。GaN基片还用于部分蓝色LED。

  底板剥离方法示例

  欧司朗的做法是在蓝宝石底板上形成GaN类结晶层,粘帖金属反射膜,然后再粘帖作为支持底板的Ge晶圆。之后,利用激光照射溶解掉GaN类结晶层与蓝宝石底板的界面部分,剥离蓝宝石底板。

  近年来,为了增加从LED芯片中提取光线,在基片上形成半导体结晶层后,将基片张贴到其他基片上的技术已经实用化。在粘贴到其他基片上时,与半导体结晶层之间的界面上设置了光的反射层。反射层具有反射发光层朝向基片侧的光线,将其提取到LED表面侧的效果。除了已用于红色LED外,最近蓝色LED等GaN类半导体LED芯片也扩大了采用。采用GaN类半导体材料的LED还有不张贴基片,使之保持剥离状态的方法。

  这些方法在外形尺寸较大的LED芯片上较为有效。大尺寸芯片存在着芯片内发生的光射出芯片外时的光径变长,导致光在这一过程中发生衰减的问题。该问题可通过张贴基片解决。

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