项目名称： 真空等离子清洗机PT-2S

申报单位： 深圳三和波达机电科技有限公司

综合介绍或申报理由：

PT-2S真空等离子清洗机，它是利用能量转换技术，在一定真空负压的状态下，以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体，气体等离子体能轻柔冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，在极短时间内有机污染物就被外接真空泵彻底抽走，其清洗能力可以达到分子级。在一定条件下还能使样品表面特性发生改变。因采用气体作为清洗处理的介质，所以能有效避免样品的再次污染。等离子清洗机既能加强样品的粘附性、相容性和浸润性，也能对样品进行消毒和杀菌。等离子清洗机现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。

主要技术参数：

PT-2S型是双路气体输入，不锈钢舱体：Φ100mm×270mm

容量：2升

*供电电源： AC220V

*工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

*射频电源功率： 0-150W/0-300W（出厂前选择一段）

*射频频率： 40KHz或13.56MHz选装 （偏移量小于0.2KHz）

*频率偏移量： 小于0.2KHz

*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配

*真空度： 10Pa—1000Pa

*气体流量： 60—600ml/min(可调)

*过程控制： MCU自动与手动方式

清洗时间： 1-100分钟可调

功率大小 10%-100%可调

外形尺寸： PT-2S型_400x450x250

重量： 36.5Kg

真空泵： 2XZ-4

真空室温度： 小于65°C冷却方式： 强制风冷

与国内外同类产品或同类技术的比较情况：

国产等离子清洗机是在国外等离子清洗机价格贵，难以推广等缺点的基础上，吸取了现有国内外等离子清洗机的优点，结合国内用户的使用需求，采用先进科技手段开发出的新型系列等离子清洗机。该产品除拥有其它等离子清洗器的优点外，更具有性能稳定、性价比高、清洗效率高、操作简便、使用成本极低、易于维护的优点。产品能适应不同用户对设备的特殊要求。清洗舱的材料有耐热玻璃和不锈钢可选择，不锈钢类清洗舱有圆形和方形可选择

技术及工艺创新要点：

功能：

对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 （如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）进行超清洗。

改变某些材料表面的性能。

使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。

清除金属材料表面的氧化层。

对被清洗物进行消毒、杀菌。

优点

具有性能稳定、性价比高、操作简便、使用成本极低、易于维护的特点。
对各种几何形状、表面粗糙程度各异的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面进行超清洗和改性。

完全彻底地清除样品表面的有机污染物。

定时处理、快速处理、清洗效率高。

绿色环保、不使用化学溶剂、对样品和环境无二次污染。

在常温条件下进行超清洗，对样品非破坏性处理。

实际运用案例和用户评价意见：

光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。

清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。

清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。

清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。

高分子材料表面的修饰。

封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。

改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增强表面粘附性、浸润性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。

牙科领域中对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性和相容性。

医用领域中修复学上移植物和生物材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性。对医疗器械的消毒和杀菌

申报单位介绍：

深圳三和波达机电科技有限公司是一家研制、开发、设计、生产、销售、服务于一体的高新技术企业，大型工业自动化的大型中外合作企业.自成立以来，三和波达公司本着“以人为本，同谋发展”的用人理念，吸引了大批年轻、专业、奋发的行业精英加盟，形成激情、成熟、活力、创新的企业团队！凭借雄厚的技术实力和人力资源，使公司在行业中已拥有了很高的知名度。我们将一如既往，以优质的产品、合理的价格、准时的交货、及时周到的售后服务，热情诚实地位新老客户服务。

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