爱思强QXP-8300 ALD技术获韩企认可
摘要: 2012年12月11日,AIXTRON爱思强宣布,韩国一家大型DRAM生产企业已验收其先进的ALD产品QXP-8300,将用于先进的高容量记忆体的生产。
2012年12月11日,AIXTRON爱思强宣布,韩国一家大型DRAM生产企业已验收其先进的ALD产品QXP-8300,将用于先进的高容量记忆体的生产。
爱思强的行政副总裁兼首席运营官Bernd Schulte博士表示:“这是我们QXP-8300 ALD技术的又一项重大里程碑。我们非常荣幸QXP-8300能够获得领先的DRAM生产商的认可,符合其ALD关键技术生产的需求。QXP-8300具有傲视同侪的生产能力,而在仅仅三个月内取得这项认可,证明了我们具备足够的信心和能力,为关键客户满足提升产能的需求。”
AIXTRON爱思强的原子层沉积技术能用于半导体设备以及新兴非半导体设备应用的超薄膜的生产。该系统具有出色的薄膜均匀性及高产量的重复生产能力。AIXTRON爱思强于2012年7月宣布接获这份来自韩国的QXP-8300 ALD系统订单。
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