Veeco高级技术工程师James Pratt：MOCVD设备的发展趋势
摘要： 2010年 MOCVD的市场需求量有望大增提升至700-800台，其中2010年中国大陆市场需求有望达到230台，占全球整体市场份额的23%，而且未来需求仍将继续大幅增长。未来MOCVD设备开发的趋势将围绕如何提高设备稳定性、提高产品良率、降低材料使用量等方面进行设计。
Veeco高级技术工程师James Pratt，在9月3日，石家庄国际半导体照明应用及标准检测创新论坛上做了精彩报告，向与会者详细介绍了MOCVD设备的发展趋势，具体内容如下：
由于TV背光和通用照明市场的启动，加大了高亮度LED的需求，LED电视市场渗透率加速提升，2010年有望达到20％-30％。LED照明应用已经从过去户外LED路灯走向室内照明应用，LED照明商机为业界带来无穷想象空间。受此影响，2010年 MOCVD的市场需求量有望大增提升至700-800台，其中2010年中国大陆市场需求有望达到230台，占全球整体市场份额的23%，而且未来需求仍将继续大幅增长。
根据外延成本主要因素分析可以发现，80%以上的成本受到外延尺寸、投资回报率、维修率、产品良率和MO源用量等五个因素的影响。因此未来MOCVD设备开发的趋势将围绕如何提高设备稳定性、提高产品良率、降低材料使用量等方面进行设计。具体来看，主要为以下几个方面：从提高产品良率及产能两方面同时着手降低外延成本；提高机台稳定性；在增加产能的同时，减少人工操作，人为干预；开发降低成本，扩大产能的同时可减少MO源的使用量的产品；开发多腔式外延炉等。
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