国产设备产业化需在体制上创新

　　因目前国产MOCVD设备的研发还处于“消化、吸收”阶段，随着国外MOCVD技术的发展，我国研制产业化MOCVD设备的门槛也越来越高，面临国外专利壁垒的考验，还高举国家优势力量，共同攻克难关。《意见》也指出要通过引进消化吸收再创新，联合各方集中攻克MOCVD装备等核心技术。

　　“定位在国外最先进的产品，引进消化吸收再创新，这种方式符合现阶段产业发展情况。”徐现刚表示，现阶段最重要的是做好组织、管理工作。政府在MOCVD设备国产化上应全局部署，在全国范围内公开召集顶尖级的人才，同时让国内企业用户与设备生产厂家联合起来，出台明确的引导政策鼓励外延生产企业采用国产化设备，加速市场化的进程。此外，因设备生产出来的最终目的是面向市场，所以产品的研制一定要以产业化为导向。“只有有开放的思想、灵活的机制，把国内的技术力量结合起来，才能更快地促进我国重要装备国产化。’徐现刚说。

　　但要解决MOCVD设备产业化问题，“最重要的是转变我国目前设备开发的推进思路和体制。”刘文单表示。以前我国在推广MOCVD设备核心技术攻关上基本采用项目课题制，进行到最后基本就是项目鉴定、课题鉴定，科研成果与产业化无法进行很好地结合，所以还须打破研究机构单独推进的方式，让具有很强实力的外延工艺企业与设备研发单位集中力量，建立真正意义上的产学研联合攻关。“国家也可以与支持的企业签‘军令状，，如果企业研制不出预先的产品并实现产业化，那么应退回国家支持的资金，这样在项目管理上给予企业压力，增强大家做事的决心。”刘文弟说。

　　面对目前国际上的设备生产大厂均把生产更大尺寸、多片式的外延生长设备作为改进方向，为保证相关科研机构研制出来的产品符合产业化需求，成为未来使用的主流机型，也有专家建议MOCVD设备的开发应在现有基础上大胆突破，瞄准3年后主流市场的单机容量进行研发，在拥有自主知识产权的MOCVD上培养外延人才，开发外延技术，从根本上保障我国半导体照明产业的可持久发展，提升我国半导体照明产业的竞争能力。