Rubicon开发出基于晶体取向的非对称晶圆工艺
摘要: 蓝宝石晶圆具有肉眼可视的特殊取向。Rubicon已经开发了一种工艺,制作可通过视觉或触觉检测取向的非对称晶圆。这很重要,因为LED和半导体制造商采用特殊晶体取向处理蓝宝石晶圆。该专利可帮助LED和SoS/RFIC产业制造商,免去昂贵和不必要的步骤,采用x-ray晶体等技术来确定蓝宝石晶圆取向。
Rubicon近日表示,美国专利商标局为其授予了一项专利(标题为《非对称晶圆架构及制作方法》),专利号为8,389,099。该公司表示,该专利涵盖了制作可通过视觉和触觉判断晶体取向的非对称性蓝宝石晶圆。
蓝宝石晶圆具有肉眼可视的特殊取向。Rubicon已经开发了一种工艺,制作可通过视觉或触觉检测取向的非对称晶圆。这很重要,因为LED和半导体制造商采用特殊晶体取向处理蓝宝石晶圆。该专利可帮助LED和SoS/RFIC产业制造商,免去昂贵和不必要的步骤,采用x-ray晶体等技术来确定蓝宝石晶圆取向。
“在LED和SoS/RFIC市场中,晶体取向在生产工艺中非常关键。该专利提供了一种简单而传统的解决方案,可消除蓝宝石晶圆处理工程中的那些昂贵的错误。”该公司总裁兼CEO Raja M. Parvez表示。
外延准备(Epitaxy-ready)晶圆既有平取向又有槽口取向,但这些信息是不够的:晶圆可能会前后翻转,看起来是一样的,但却不能用了。只通过重复的x-ray检测,厂商就能确保晶圆不被翻转。如果晶圆是非对称的,每个生产阶段的操作人员都能迅速而节省地分辨表面取向。
Rubicon的专利展示了一些不同的制造蓝宝石晶圆不对称的解决方案,在平或槽口取向中哟孤儿圆角,这使得用户可以决定晶圆不被反转。在其他解决方案中,平取向的圆角均比做成不同半径的圆形,这些差异足以通过触觉和视觉检测来确定其取向。该技术还可用于硅、氧化硅、氮化铝、碳化硅、砷化镓、磷化镓、氮化镓和非结晶物体等衬底。
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