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aixtron正在通过推出垂直HVPE工具加速自支撑gan的商业化，该工具以悬挂的种晶架为特征，并能产直径为2英寸的梨形人造晶体。
https://www.alighting.cn/resource/20071016/128543.htm2007/10/16 0:00:00
2007年8月30日，美国马里兰州西尔弗斯普林的technology and devices international（tdi）公司已通过HVPE法生长出具有器件级品
https://www.alighting.cn/resource/20070903/128523.htm2007/9/3 0:00:00
日本和瑞士的研究人员已采用一种蓝宝石衬底激光方式使氢化物气相外延法(HVPE)生长的gan层厚度增加200μm左右。研究人员来自纳米奇精密珠宝公司、洛桑联邦理工学院(epfl)
https://www.alighting.cn/2013/3/12 10:06:21
氢化物气相外延(HVPE)是制备氮化镓(gan)衬底最有希望的方法.本文介绍了氮化镓材料的电学、光学性质及重要用途,总结了gan体单晶及薄膜材料制备方法,描述了氢化物气相外延技
https://www.alighting.cn/resource/20110913/127162.htm2011/9/13 9:04:57
目前工研院已成功建立高温常压磊晶机台，更已在gan on gan技术上深耕多年，从早期的HVPE氮化镓基板成长到目前的蓝紫光led磊晶技术，技术面皆已突破现今gan o
https://www.alighting.cn/2013/11/5 9:56:22
