【解读】 PL技术用于LED材料特性检测
上传人:本站 上传时间: 2013-12-10 浏览次数: 24 |
PL为一快速、非接触性、非破坏性之可量测样品空间分布的量测技术,无论在产品的量产和开发上都有很好应用。因PL快速量测的特性可适应LED产线上的生产速度,且以非接触与非破坏性的量测可确保样品不会在量测的过程中改变原本的特性,配合mapping技术或将讯号接收器改为CCD,可得到样品空间分布的特性,得知制程的均匀性以回馈MOCVD的制程,于量测时不需电极可监控制成过程中每一个步骤的变化,此为PL量测技术导入LED Wafer产线的优势。
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