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【特约】新一代LED制造技术的几个关键基础问题

上传人:吕家东

上传时间: 2012-11-26

浏览次数: 159

  主要内容包括五个关键技术和三大基础问题:

  问题一 大尺寸LED晶圆制造中主要缺陷形成机理及抑制方法

  问题二 高速运动系统多参数耦合机制及精确定位和控制

  问题三 LED器件热输运控制机制与失效因素耦合规律

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