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LED探针台重叠区域的图像处理

上传人:霍杰,田洪涛,刘国敬,宋婉贞

上传时间: 2011-08-23

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作者霍杰,田洪涛,刘国敬,宋婉贞
单位中国电子科技集团第四十五研究所
分类号TP391.41
发表刊物电子工业专用设备
发布时间2011年05期

  随着半导体集成度的提高,LED管芯尺寸越来越小,LED探针台使用面阵相机对晶圆上的管芯图像数据采集时,采集数据量大大增加,需要一种效率更高的数据处理办法,消除重复的采集数据以及对处理后的数据进行排序。本文提出了两种数据处理方法并进行比较,经过大量的实验证明,得出最优……

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