LED探针台重叠区域的图像处理
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上传人:霍杰,田洪涛,刘国敬,宋婉贞 上传时间: 2011-08-23 浏览次数: 101 |
| 作者 | 霍杰,田洪涛,刘国敬,宋婉贞 |
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| 单位 | 中国电子科技集团第四十五研究所 |
| 分类号 | TP391.41 |
| 发表刊物 | 电子工业专用设备 |
| 发布时间 | 2011年05期 |
随着半导体集成度的提高,LED管芯尺寸越来越小,LED探针台使用面阵相机对晶圆上的管芯图像数据采集时,采集数据量大大增加,需要一种效率更高的数据处理办法,消除重复的采集数据以及对处理后的数据进行排序。本文提出了两种数据处理方法并进行比较,经过大量的实验证明,得出最优……


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