蓝宝石生长设备现状
上传人:未知 上传时间: 2011-08-13 浏览次数: 205 |
上世纪90年代中村修二先生在蓝宝石衬底上制成GaN基蓝光LED,使得蓝宝石晶体的应用飞速增加。随着蓝宝石晶体应用市场的急剧膨胀,其设备和技术也在上世纪末取得了迅速的发展。晶体尺寸从2英寸扩大到目前的12英寸。
国际上目前主流的蓝宝石晶体生长工艺是泡生法、提拉法、导模以及热交换法,而泡生法工艺生长的蓝宝石晶体约为目前市场份额的70%。因此这里主要介绍目前泡生法蓝宝石晶体生长设备状况。LED蓝宝石衬底晶体技术正属于一个处于正在发展的行业,由于晶体生长技术的保密性,其多数晶体生长设备都是根据客户要求按照工艺特点定做,或者采用其他晶体生长设备改造而成。
目前而言,市场上仅有为数不多的公司(俄罗斯国家)制造蓝宝石晶体生长设备,而且产能有限、交货周期比较长,一般超过6个月。此外,由于目前蓝宝石晶体生长设备自动化程度低,热系统稳定性较差,其晶体生长技术很大程度上需要依赖于技术人员的水平,而俄罗斯国家晶体生长设备与晶体生长工艺技术又分别由不同的公司进行服务,在衔接以及技术人员的培养过程中不可避免的出现这样那样的问题。因此很大程度上限制了中国LED产业的技术进步与发展。
当前有一些国内厂家对外宣传,可以提供模仿俄罗斯设备结构的泡生法蓝宝石晶体生长设备,但是不含晶体生长的关键部件——热场系统,仅销售电源、控制、真空以及炉体系统,更没有蓝宝石晶体生长工艺、技术支持等方面的服务,究其本质,非是真正意义上的蓝宝石晶体生长设备。
由于没有能够实现整套蓝宝石晶体生长设备销售的公司出现,在很大程度上限制了蓝宝石晶体技术的发展。而随着LED产业的不断发展,蓝宝石设备的短缺使蓝宝石衬底产品很难在短期内满足迅速增长的市场需求。另一方面技术的不稳定导致很多厂家即使有设备的情况下也很难在短期内迅速扩产。综上,蓝宝石晶体设备以及衬底技术已成为目前限制LED产业的最主要的瓶颈之一。
开发蓝宝石晶体设备并不能简单的进行仿造,必须在拥有晶体生长技术的基础上,依据晶体生长的原理以及蓝宝石晶体所具有的物理化学性能等对设备进行设计。蓝宝石晶体生长设备主要包含热场系统、控制系统、电源、晶转晶升系统、真空系统、炉腔配套辅组系统等。同时,蓝宝石晶体材料也不断向大直径、高质量、产业化方向发展,这就要求与之相适应的晶体生长设备向大型化方向发展,具备稳定性好、质量高、自动化程度高、操作使用方便等优点。
CrystalTech ISS 全系列蓝宝石设备使用快速改良泡生法,实现了全自动晶体生长,并相对原有的泡生法大大提高了生长速率和产出。CrystalTech ISS的全系列蓝宝石生长炉使用了万分之一级的高精度电源,先进完善的热系统,全自动闭环控制系统等众多先进的设计,并集成了完整可靠的工艺包。 CrystalTech 想用户所想,可以为客户提供技术专家的驻厂服务,实现百级位错的LED外延用蓝宝石晶体生长的交钥匙服务。
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