LED衬底的选择与外延工艺设备
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上传人：黄健全 上传时间： 2011-07-22 浏览次数： 423 |
衬底材料的选择
衬底材料是半导体照明产业技术发展的基石。不同的衬底材料，需要不同的外延生长技术、芯片加工技术和器件封装技术，衬底材料决定了半导体照明技术的发展路线。衬底材料的选择主要取决于以下九个方面：
[1]结构特性好，外延材料与衬底的晶体结构相同或相近、晶格常数失配度小、结晶性能好、缺陷密度小;
[2]界面特性好，有利于外延材料成核且黏附性强;
[3]化学稳定性好，在外延生长的温度和气氛中不容易分解和腐蚀;
[4]热学性能好，包括导热性好和热失配度小;
[5]导电性好，能制成上下结构;
[6]光学性能好，制作的器件所发出的光被衬底吸收小;
[7]机械性能好，器件容易加工，包括减薄、抛光和切割等;
[8]价格低廉;
[9]大尺寸，一般要求直径不小于2英吋。
外延片方大图
MOCVD机台
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