三安光电公告称，根据公司与厦门火炬高技术产业开发区管理委员会签署《投资协议》，厦门火炬开发区管理委员会同意给予本公司项目公司(即厦门三安光电有限公司)规模200台(以2英寸单腔54片机型为基数)MOCVD设备补助，单台以2英寸54片金额500万元为基数进行折算，随项目公司付款进度分期支付，(具体内容公司已于2014年4月4日公告刊登在《上海证券报》、《证券时报》、《中国证券报》及上海证券交易所网站)。

　　2014年9月26日、2014年12月10日，厦门三安光电有限公司向德国AIXTRON SE和维易科精密仪器国际贸易(上海)有限公司订购了合计100台腔(4英寸单腔31片机型)MOCVD设备。 2014年12月15日、2014年12月26日，厦门三安光电有限公司收到厦门火炬高技术产业开发区管理委员会给予设备补贴款40，000万元。2015年12月11日，厦门三安光电有限公司终止采购德国AIXTRON SE 47台腔(4英寸单腔31片机型)设备(上述内容具体详见公司2014年9月30日、2014年12月12日、2014年12月17日、2014年12月29日、2015年12月11日公告刊登在《上海证券报》、《证券时报》、《中国证券报》及上海证券交易所网站)。目前，厦门三安光电有限公司拥有53台腔(4英寸单腔31片机型)MOCVD设备。

　　根据协议，厦门三安光电有限公司2016年6月30日收到厦门火炬高技术产业开发区管理委员会给予设备补贴款净额20，850万元。厦门三安光电有限公司53台腔(4英寸单腔31片机型)设备补贴款60，850万元全部收到。