近日,据ACB News《澳华财经在线》报道,澳大利亚BluGlass公司发布公告,宣布与国内芯片厂商华灿光电签署合作协议,未来将共同挖掘RPCVD技术的应用潜力。
RPCVD技术,详细注解为低温远程等离子化学气相沉积,该技术主要利用低温制造平台形成的氮化镓(GaN)、氮化铟镓(InGaN)等关键半导体材料薄膜,因之产生的低温和灵活可控特性,以为生产工艺提供高效、低成本、性能佳、基地材料适用范围广的优势,对于时下LED灯具和电力电子器件等设备生产具有积极意义。
公告显示,根据本次协议,华灿光电将主要评估RPCVD技术在低温沉积氮化镓薄膜工艺和氮化铝薄膜工艺中的优势,未来,这两项工艺将分别用于绿色LED和高亮度LED芯片制造。
在获悉该新闻后,小编本能反应这可能是一种基于硅衬底的外延技术,并将同此前获得国家技术发明一等奖的硅衬底技术有一个很好的结合,但在详细了解情况后,实际并不是这样。
“此项RPCVD技术同目前国内市场大力发展的硅衬底技术,并无太大关联,仅是一种低温的气相沉积技术,目前我们华灿也是作为一项技术储备,离最终走向应用端还有待时日。”据华灿光电副总裁边迪斐介绍道。
而公告也提及,华灿光电将向BluGlass提供测试RPCVD技术所需要的4英寸单晶硅圆片,并负责后续组装工作。此次测试还将用到BluGlass设计的新型RPCVD反应腔,以提升RPCVD技术形成的氮化铝薄膜的均匀度,预计这种新型反应腔计划将在未来数月中投入生产。
而就在此次BluGlass公司同华灿光电订立合作协议前不久,今年3月23日,BluGlass也已宣布同Lumileds进入合作协议,开发、生产和销售为一体的Lumileds led和汽车照明产品,并且两家公司也将共同探索潜在的使用低温RPCVD为特定应用程序定义的协议。
此前,BluGlass总裁Giles Bourne在接受采访时已表示,“RPCVD技术不断取得商业化成果,并逐渐获得业界的认可。目前已经有三家行业前沿公司对该技术做出了积极的行业评估。”
目前行业已经知晓的Lumileds+华灿光电,那么,还有一家呢?与BluGlass公司展开积极合作的是谁?后续,高工LED也将持续关注,特别是关于此项技术的进一步突破方面。
注:BluGlass为澳大利亚一家绿色科技创新公司,目前在美国、中国、欧洲、日本等多个地区持有半导体技术的大量专利,致力于促进半导体行业突破性技术的商业化。BluGlass希望将RPCVD引进规模高达数百亿美元的全球LED照明市场,为制造商提供可选的补充技术。