GB/T 14015-1992 硅—蓝宝石外延片
摘要: 本标准规定了蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于半导体器件用蓝宝石衬底上生长的单晶硅外延片。
发布部门: 国家技术监督局
发布日期: 1992-01-02
实施日期: 1993-08-01
首发日期: 1992-12-28
复审日期: 2004-10-14
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会
主管部门: 国家标准化管理委员会
起草单位: 天津半导体技术研究所
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