日厂住友电工首创绿色雷射用2寸GaN基板量产技术
摘要: 继2009年研发出波长531 nm、可应用于雷射电视及可携式雷射投影机的原生绿色雷射技术后,日厂住友电工近日又利用自家研发的H-VPE制造技术,成功研发出可使用于原生(直接)绿色雷射、尺寸达2寸,位错密度达10的5次方的半极性及非极性氮化镓(GaN)基板。
继2009年研发出波长531 nm、可应用于雷射电视及可携式雷射投影机的原生绿色雷射技术后,日厂住友电工近日又利用自家研发的H-VPE(hydride vapor phase epitaxy)制造技术,成功研发出可使用于原生(直接)绿色雷射、尺寸达2寸,位错密度(Dislocation density)达10的5次方的半极性及非极性氮化镓(GaN)基板。该基板将有效增进绿色雷射及白色LED的性能。
据悉,现行的制造技术仅能制作出数mm左右大小的长方形GaN基板。住友的GaN基板,突破这一量产元件的瓶颈,即使与现行已进行量产的GaN基板结晶面(crystal face)相比,也毫不逊色。
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