大日本网屏推出VOC零排放300mm外延片清洗装置
摘要： 大日本网屏开发成功了不使用溶剂而使用干燥空气的300mm外延片清洗装置用干燥模块。此前外延片的干燥工序使用的是IPA（异丙醇，(CH3)2CHOH），而此次采用了向清洗后的外延片吹送干燥空气进行干燥的新技术。IPA是大气污染法禁止使用的VOC（挥发性有机化合物）的一种。由于不使用IPA，因此可以减小环境污染。
大日本网屏开发成功了不使用溶剂而使用干燥空气的300mm外延片清洗装置用干燥模块。此前外延片的干燥工序使用的是IPA(异丙醇，(CH3)2CHOH)，而此次采用了向清洗后的外延片吹送干燥空气进行干燥的新技术。IPA是大气污染法禁止使用的VOC(挥发性有机化合物)的一种。由于不使用IPA，因此可以减小环境污染。
新模块使用的干燥空气的露点非常低，即使到-70℃也不会结露，因此清洗后的水分可以在很短的时间内清除。处理时间与使用IPA相比，大约只有1/2。
由于不使用IPA，还可以大幅降低运用成本。在使用原来的模块时，每台装置每年大约要使用1万6206升IPA。这一费用每年可以削减约900万日元，据大日本网屏推算，每年的运用成本最多可以缩减至原来的1/8。
原来的干燥方式(左)和新开发的干燥方式(右)
此次的模块已开始在该公司2005年上市的批量式清洗装置“FC-3100”中嵌入销售，模块单体价格没有公布。嵌入新模块的装置与采用原模块的装置相比，“价格多少要高一些”(该公司公关室)。FC-3100的售价为3亿～4亿日元(因规格而异)。采用原模块的机型与采用新模块的机型均在这一价格范围内。采用新模块的FC-3100将从2008年12月开始销售。(编辑：CBE)
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