在太阳能电池产业的带动下，我国半导体设备行业取得了不俗的业绩。业内专家表示，在关注太阳能电池市场的同时，国内设备厂商还应把目光投向LED、LCD、电力电子器件等市场应用领域，并保持住价格优势，在新一轮的竞争中争取更大的市场空间。

　　太阳能电池设备仍是亮点

　　由于国际市场对太阳能电池需求猛增，加之太阳能电池生产设备进入门槛不是很高，因此，国内不少设备生产厂商瞄准这个市场，纷纷推出光伏生产设备，使其成为近几年来我国半导体设备销售的主要组成部分。

　　中国电子专用设备协会秘书长金存忠在接受《中国电子报》记者采访时表示，目前，国产半导体设备最大的亮点还是太阳能电池设备。想想看，四五年前国内整个半导体设备行业的销售额只有2亿-3亿元，而到今年底仅仅太阳能设备的销售额就将达到8亿元。这也就不难理解为什么中电科技集团48所、45所，七星华创，西安理工大学附属工厂等设备厂商及研究所在太阳能电池设备领域内捷报频传了。

　　据业内专家介绍，经过多年努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式PECVD)则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳模拟器等在行业获得广泛应用。硅片加工设备中单晶炉以优良的性价比占据了国内市场的绝对统治地位并批量出口亚洲，多线切割机已取得突破，多晶硅铸锭炉推向市场指日可待。

　　国产太阳能光伏设备在国内用户中已建立起良好的信誉，得到业界的广泛认可，越来越多的客户从国产设备使用中受益。

　　中电科技集团48所副所长王俊朝表示，中国太阳能光伏产业在短短的数年间具备直面国际的竞争能力，获得高速发展的利器在于技术与国际接轨的同时拥有无法比拟的低成本优势，使得企业投资成本大大降低。他强调说，为了保持成本优势，未来太阳能电池设备的技术发展必须围绕着以下几方面进行：提高单机自动化水平，增加批次装片量，提高单机生产效率;设备间机械手自动转送，在线检测，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率;将更先进的工艺技术物化于设备，进一步提高太阳能电池的光电转换效率，降低每瓦成本;适合大尺寸、薄硅片工艺等，以节约硅材料降低成本;带废气排放收集处理装置，降低废气及中间生成污染物排放，满足更严格的环保法规。

　　要保持高性价比优势

　　在采访过程中，不少业内专家均表示，国内半导体设备厂商在技术水平上无法和国外厂商相提并论，因此，高性价比成了国产半导体设备与国外产品竞争的唯一优势。

　　王俊朝表示，高端设备由于缺乏竞争力而没有可比性，在具备生产能力的中低端产品上，价格往往成为国产设备竞争的杀手锏。严格来讲，应该是性能价格比。在基本同等的技术水平下，国产设备价格一般只有进口设备的1/10-1/3，这对要求投资回报率高资金回收快的用户具有巨大的诱惑力。当然，使用成本低、备品备件便宜、维护保养方便快捷、中文操作界面等也是国产设备不可忽略的优势。另外，相对而言，国内厂家对国内市场和客户的了解程度更深，与用户的沟通更通畅，更易达成一致。

　　正是看到了国内半导体设备厂商的优势，业内专家给出了突破口：国产半导体设备应该充分利用本土企业的地域优势和价格优势，加紧缩小与国外设备的技术差距，加强服务意识，为国内顾客提供量身定做的产品，以产品差异化切入市场，建立起快速反应的服务机制，给国内用户以足够的信心。

　　为此，国内设备企业应从以下几方面做起：第一，国内半导体设备厂商应采取供需结合或与院校合作成立实验室等方式，创造设备开发单位与工艺单位密切配合的条件，让用户的要求和工艺设想进入半导体设备的整体和顶层设计，使生产工艺在半导体设备中得以物化，以推动其商品化进程。第二，研制和生产过程国际化，国内不过关的零部件采用进口的办法解决，以利于配套专业化和保证产品质量，同时大力发展国内的半导体设备零部件配套业，尽快降低零部件的采购成本，提高半导体设备的性价比。第三，提高产品的可靠性、实用性和一致性，满足用户的生产需要。第四，积极采用国际标准，推进半导体设备的标准化工作。

　　此外，国内设备厂商还应关注新的市场应用领域，如用于LED、LCD、MEMS、电力电子器件等制造工艺的半导体设备和用于IC大生产线的翻新设备如各种扩散炉、离子注入机、刻蚀机、光刻机、CVD，用于各种材料制备的MOCVD、单晶炉及后封装设备等是国内半导体设备的市场热点，值得密切关注。

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我国半导体设备进入大生产线

　　北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司和北京中科信电子装备有限公司研制成功的100纳米半导体设备，并顺利进入中芯国际生产线，标志我国半导体设备在自主创新和产业化上迈出了可喜的一步。今年底，北方微电子公司高密度等离子体刻蚀机和中科信公司大角度离子注入机预计将达到12英寸90nm的技术水平。

　　此外，上海中微半导体设备有限公司的刻蚀机和HPCVD己进入国际顶级大厂，正在进行工艺的验证阶段;沈阳芯源的涂胶显影机、中国电子科技集团公司45所的封装和清洗等设备、七星华创公司的高温设备、沈阳科仪中心有限公司的PECVD、北京自动测试技术研究所的VXI数模混合集成电路测试系统、北京京联发数控科技有限公司的单晶硅棒切方滚磨机床、兰州瑞德设备制造有限公司的数控精密研磨机、格兰达技术(深圳)有限公司的高压水喷砂去溢料机系列设备等不断开拓创新，都为国内半导体产业的飞速发展做出了贡献。