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AIXTRON与Veeco先后推出MOCVD新品

2007-02-10 作者:admin 来源:中国半导体照明网 浏览量: 网友评论: 0

摘要: 07年年初,AIXTRON与Veeco这两大MOCVD制造商先后推出其新型MOCVD设备。

07年年初,AIXTRON与Veeco这两大MOCVD制造商先后推出其新型MOCVD设备。
AIXTRON在2007年1月4日宣布其42x2 英寸(GaN LED)的AIX 2800G4 MOCVD 目前正在一长期客户处运行。该系统从交付到签核仅用了几个星期的时间并已开始用于生产,对于新品如此快地得到首用客户的认可,AIXTRON表示非常满意,并称此证明了其技术带来的性能增强迎合了客户的需要。
应客户对超高亮LED单次产量加大的要求,AIXTRON强化了系统内部,基于整合概念平台对MOCVD系统的大部分组件及反应室本身进行了重新设计。使其兼具封装紧凑、操控方便、维护、稳定性和再现性更好实现的特点。而拥有的成品率升级(Yield-Plus)新性能也使其与之前的系统相比更出色。
Veeco于2007年1月7日宣布推出用于生产高亮(HB)GaN LED的新型TurboDisc(R)K系列MOCVD系统,并称已有三家HB-LED制造商订购了5台新设备,共计1千万美元左右。
TurboDisc(R)K系列包含K300和K465 模式,为产量提高、反应室加大及维护成本降低提供了一个模块化的、可升级途径。K465拥有veeco最先进的反应技术,与目前其他竞争的MOCVD生产工具相比,产量提高了近50%。
Veeco 评价其新型MOCVD是市场唯一的有能力连续运作的平台,其多代性和更大的容量将为HB-LED客户提供长期的维护成本优势和技术支持,以实现客户的LED亮度路线图目标。预计随着HB-LED在汽车、建筑、背光(笔记本、LCD电视)照明应用方面的渗入,Vecco的市场将快速增长,而Veeco将继续与客户合作开发创新技术解决方案,提供世界级加工和应用支持。结合了TurboDisc 技术良好的一致性和可重复性,客户现在拥有的多代、高产MOCVD系统可满足其现在及将来的需求。
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