项目名称： 达波机电真空等离子清洗机PT-15S

申报单位： 深圳三和波达机电科技有限公司

综合介绍或申报理由：

离子清洗机厂家-深圳三和波达机电科技有限公司 达波机电真空等离子清洗机PT-15S

主要技术参数：

型号：PT-15S

电源： AC220V

工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

射频电源功率： 0-600W

射频频率： 40KHZ或13.56MHz选装 （偏移量小于0.2KHz）

频率偏移量： 小于0.2KHz

*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配

真空度： 30Pa—100Pa

气体流量： 10—100ml/min(可调)

过程控制： MCU自动与手动方式

清洗时间： 1-99999秒钟可调

功率大小 10%-100%可调内腔尺寸 200mm×150mm×400mm

外形尺寸： PT-15S型_650*520*500

重量： 45Kg

真空泵： 2XZ-6

真空室温度： 小于65°C

冷却方式： 强制风

技术及工艺创新要点：

1.金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。 在这种情况下的等离子处理会产生以下效果：
1.1灰化表面有机层
－表面会受到化学轰击（图一）
－在真空和瞬时高温状态下，污染物部分蒸发
－污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空带出
－紫外辐射破坏污染物
因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度，所以污染层不能太厚。指纹也适用。 1.2氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发生化学反应（图二）
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合物。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面5分钟，第二步用氢气和氩气的混合物去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。
1.3焊接
通常，印刷线路板在焊接前要用化学助焊剂处理。在焊接完成后这些化学物质必须采用等离子方法去除，否则会带来腐蚀等问题。
1.4键合
好的键合常常被电镀、粘合、焊接操作时的残留物削弱，这些残留物能够通过等离子方法有选择地去除。同时氧化层对键合的质量也是有害的，也需要进行等离子清洁。

2、等离子刻蚀
在等离子刻蚀过程中，通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料）。 （图三）
等离子方法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化填充混合物，同时得到分布分析情况。刻蚀方法在塑料印刷和粘合时作为预处理手段是十分重要的，如POM 、PPS和PTFE。等离子处理可以大大地增加粘合润湿面积。

3、刻蚀和灰化
PTFE刻蚀
PTFE在未做处理的情况下不能印刷或粘合。众所周知，使用活跃的碱性金属可以增强粘合能力，但是这种方法不容易掌握，同时溶液是有毒的。使用等离子方法不仅仅保护环境，还能达到更好效果。（图四）

实际运用案例和用户评价意见：

电子行业
Led支架、晶圆、IC等的清洁和焊接性增强处理；电子元器件的绑定性增强，PCB和陶瓷基板的激活处理等。

一、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率；

二、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；

三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性；

四、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好；

五、使用等离子清洗，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；

六、等离子清洗需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；

七、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；

八、等离子体清洗可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理。因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质。而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；

九、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的

申报单位介绍：

深圳三和波达机电科技有限公司是一家研制、开发、设计、生产、销售、服务于一体的高新技术企业，大型工业自动化的大型中外合作企业.自成立以来，三和波达公司本着“以人为本，同谋发展”的用人理念，吸引了大批年轻、专业、奋发的行业精英加盟，形成激情、成熟、活力、创新的企业团队！凭借雄厚的技术实力和人力资源，使公司在行业中已拥有了很高的知名度。我们将一如既往，以优质的产品、合理的价格、准时的交货、及时周到的售后服务，热情诚实地位新老客户服务。

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