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7月3日，诺发公司宣布其已向旭瑞光电公司提供了一台vector(r)型等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备。旭瑞光电是一家位于佛山的合资公司，其股东之一是世界领先的高亮度le
https://www.alighting.cn/news/20110707/115265.htm2011/7/7 12:14:21
美国工艺设备供应商aviza表示，它的等离子增强的cvd系统取代了另一家竞争者成为前五名高亮度led制造商的供应商。aviza产品事业部的高级副总kevin crofton表示，下
https://www.alighting.cn/news/20081003/117766.htm2008/10/3 0:00:00
德国爱思强股份有限公司今日宣布，接获中国科学院金属研究所(imr)的bm系统订单。订单内容为一套4英寸晶片规格的bm pro PECVD系统，用于碳纳米管和石墨烯生产的研究。
https://www.alighting.cn/news/20120919/112823.htm2012/9/19 11:07:00
2007年3月5日，通用全球研发中心(ge global research)与日本oled生产设备供应商 tokki 公司达成协议， ge受专利保护的PECVD(等离子增强型化
https://www.alighting.cn/news/20070306/116551.htm2007/3/6 0:00:00
