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ulvac在semicon japan 2007展览中展示量产led与ld的 乾式蚀刻设备「apios ne-950」，此设备较先前枚叶式蚀刻设备「ne-5700」生产效率提升。
https://www.alighting.cn/news/20071207/107618.htm2007/12/7 0:00:00
造，pss晶圆蚀刻与电浆工具需求亦将随之攀
https://www.alighting.cn/news/20130105/88644.htm2013/1/5 16:03:42
pcb干式设备大厂志圣(2467)将积极争取led市场，该公司预期展出pss turnkey solution，不仅可降低污染状况，更可提升led亮度达30%，在led相关设备上，
https://www.alighting.cn/news/20120322/113875.htm2012/3/22 9:25:11
挟显示器制造经验，中国经济50人论坛常务理事潘仲光于2004年在美国创立阿德文泰克全球有限公司，专门以“蒸镀印刷”技术，发展有机发光影视技术（oled）；有朝一日，生活中的任何平面
https://www.alighting.cn/news/20110530/100833.htm2011/5/30 20:21:36
作为国产高端led设备制造商的代表，北方微电子（nmc）凭借其过硬的技术基础和本地化的服务优势，在产业的快速成长中取得了骄人的成绩。
https://www.alighting.cn/news/20110620/115512.htm2011/6/20 15:26:14
日前，美国伦斯勒理工学院研究人员发现，在led的蓝宝石衬底和氮化镓层的交界处进行纳米级蚀刻，使led产生绿光，可极大改进光提取、内部效率和发光量等方面。
https://www.alighting.cn/news/20110510/100451.htm2011/5/10 15:03:54
随着led电视热潮让led的受关注程度激增，semi指出，全球led产业目前趋于稳定，晶电、璨圆今年都进行重大投资案，将生产系统现代化，增加对量测、自动化、蚀刻及微影等领域的投
https://www.alighting.cn/news/201399/n112055952.htm2013/9/9 10:11:39
而si基板通过蚀刻即可去
https://www.alighting.cn/news/20140630/97439.htm2014/6/30 14:37:41
伦斯勒理工学院的研究人员发明了一种能大大提高绿色led发光量的制造方法：在led的蓝宝石衬底和氮化镓层的交界处进行纳米级蚀刻,使led产生绿光，并且在光提取,内部效率和发光量方
https://www.alighting.cn/news/20110509/100509.htm2011/5/9 10:38:49
爱发科上市了生产效率高达原来5倍的量产用干蚀刻(dry etching)装置。主要面向发光二极管(led)和激光二极管。计划从07年12月起开始供货，08年销售30～40台。价格
https://www.alighting.cn/news/20071204/121387.htm2007/12/4 0:00:00
