Veeco推出MOCVD新系统
摘要： 2007年10月9日，Veeco宣布推出生产红、橙、黄(ROY)高亮(HB)LED和多结III-V聚光太阳能电池(主要用于太空)用TurboDisc(R) E475(TM) As/P MOCVD新系统。
2007年10月9日，Veeco宣布推出生产红、橙、黄(ROY)高亮(HB)LED和多结III-V聚光太阳能电池(主要用于太空)用TurboDisc(R) E475(TM) As/P MOCVD新系统。
Veeco MOCVD部总经理Piero Sferlazzo评价道：“TurboDisc E450具有稳定量产优质ROY LED和多结太阳能电池的生产能力，是这些应用的畅销工具。而现在，凭借着下一代E475，Veeco将继续推动MOCVD技术在量产高亮LED和III-V聚光太阳能电池方面的发展。与E450相比，E475的产能提高了15%，维护成本也得到了改进。客户可以选择购买新E475或在现有的E450工具基础上升级，进一步提高投资回报。”
Veeco的TurboDisc As/P MOCVD可降低生产ROY HB-LED、LD、PHEMT、HBT的维护成本。依Piero Sferlazzo所言，他们的系统可提供其他竞争产品无可比拟的生产控制和稳定性。这些技术先进的MOCVD系统以Veeco的integrated RealTemp(R)200技术为主要特色，直接晶圆温度控制、快速气体切换及真空进料自动化使其拥有出众的材料质量和生产效率。（编辑：PCL）
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